碳化硅粗拋光液       

優(yōu)點(diǎn)：1、拋光速率大于2.5μm/h。 2、拋光表面平整光滑，無明顯劃傷。3.壽命長

應(yīng)用：不同尺寸高純半絕緣體4H-SiC，N型4H-SiC等晶圓拋光。

碳化硅精拋液       

優(yōu)點(diǎn)：1、拋光表面質(zhì)量好，表面粗糙度Ra<0.15μm。2、去除效率高，拋光速率大于1μm/h。3、易清洗。

應(yīng)用：不同尺寸高純半絕緣體4H-SiC，N型4H-SiC等晶圓精拋。